目前氮化铝基板制备技术主要有流延成及干压两种成型工艺。一般厚基板采用干压成型制备,具体是将氮化铝粉料与添加剂混合后加粘结剂,喷雾造粒,将造粒好的粉体装入干压模具进行压制,排胶后烧结,或者经过等静压处理后排胶烧结,由于压制坯体均匀性问题,成瓷基板往往需要后加工,以达到所需要的尺寸及精度要求。干压成型存在以下缺点:1、需要专门制做模具;2、由于压制的坯体不太均匀,易造成烧结后尺寸收缩不均匀,产物往往需要后续切割加工,太厚加工难度较大,成本较高;3、干压成型往往存在气孔等缺陷,影响产物强度与导热率等性能;4、同时压制不均匀也易造成烧结后的产物外观及不同部位性能存在差异;5、生产效率低。
氮化铝厚基板的另一种制备方法是采用流延迭层方式增加基板厚度,普通流延迭层存在以下缺点:1.迭层间由于空气未排净容易出现气泡;2.坯片在迭层过程中容易出现错位现象。采用流延成型制备氮化铝厚基板需要对坯体表面进行特殊处理,否则易出现分层及产物外观及性能等问题。